【生产企业】：尼康[日和国]

【纳税金额】：530000元软妹币

……

【设备名称】：光刻一体机

【设备功能】：硅晶圆芯片制造

【操作模式】：全自动

【生产精度】：28纳米

【生产企业】：佳能[日和国]

【纳税金额】：680000元软妹币

……

【设备名称】：光刻一体机

【设备功能】：硅晶圆芯片制造

【操作模式】：全自动

【生产精度】：3纳米

【生产企业】：阿斯麦[尼德兰]

【纳税金额】：725000元软妹币