何景也在沉思着，适合步进式扫描光刻机的光源又不少， 但想要做出更好更精密的芯片， 那种光源可不是那么好找的，再说了， 即使确定类型了， 能不能掌握这种光源那也是个问题。

就在沉默中，终于有人开口， “现有光刻机使用的光源有激光、紫外光、深紫外光，最近国外还提出了一种类型的光源， 便是极紫外光。只是这种光源还处于研究之中，并不是我们能掌握的。”

随着他开口，立马又有不少人开口了。

“是啊，所长， 极紫外光波长足够短，按照原理，具有极好的成像效果，且能缩小芯片，但我们并没有办法掌握这个光源。”

“我也查过不少资料了，国外也才开始研究，需要花费很长时间，也不一定会有结果。”

“不然还是还是在深紫外光领域进行深挖吧？”

“估计不行，根据发展定律，这种光源能挖掘的潜力有限。”

“还只能从极紫外光着手了啊！”

“那肯定是啊，就是我们花国光学发展还不行吧！”

“唉，估计很难！”

“我们这也有专业的光学研究员的吧？”